集束イオンビーム加工観察装置
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※「セルフオペレート」と記載のない機器は、研究員が操作させていただきます。
| 機種名 | 集束イオンビーム加工観察装置 |
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| 形式 | JIB-4000 |
| 写真 |
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| 仕様 |
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| 機器説明 | ガリウムイオンの照射により、試料表層の微細加工・断面加工及び観察ができる装置です。像を観察しながら微小特定領域を加工できることから、試料内部の層構造、接合界面、膜厚などの観察、走査型電子顕微鏡などによる断面観察を行うための試料作製などが可能である。 （旧機種名：FIBマニピュレーション装置） |
| 使用料・手数料 | 要相談。［手数料］微細加工(集束イオンビーム加工観察装置) を参照 |
| 配置場所 | 101ナノ構造観察室 |
| 機器の状況 | 要相談 |
| 測定事例 | 測定例など詳細はこちら |
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