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レーザー顕微鏡

  • 試験・分析の依頼
    ※ 研究員が測定し、結果をお渡しいたします。
  • ハンズオン支援機器
    ※ ご自身で操作いただき、研究員のサポートを受けられます。
機種名 レーザー顕微鏡
形式 OLS5100-SAT
写真
メーカー オリンパス(株)
仕様
  • 測定精度(平面測定)

  繰り返し性:0.02μm(3σn-1、対物レンズ100倍)

  正確さ:測定値の±1.5%以内

  • 測定精度(高さ測定)

  繰り返し性:0.012μm(3σn-1、対物レンズ100倍)

  正確さ:0.15+L/100μm(L=測定長μm)

機器説明 本装置は、試料の表面形態を大気中において、非破壊で迅速に測定できます。観察時に焦点の合った面だけから情報を取り出し、さらに焦点位置を変えて像を撮り、それらを画像メモリーで足し合わせることにより、3次元の情報をもった画像を得ることができます。
使用料・手数料 [設備の使用料]機械または装置 レーザー顕微鏡を参照
配置場所 102 ナノ表面評価室
機器の状況 利用については要相談
測定事例

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