レーザー顕微鏡

機器名	レーザー顕微鏡
商品名	3D測定レーザー顕微鏡
写真
型式	OLS4000-SAT
メーカー	オリンパス（株）
仕様	測定精度（平面測定）　　繰り返し性：0.02μm（3σn-1，対物レンズ100倍) 　　正確さ：測定値の±2%以内測定精度（高さ測定）　　繰り返し性：0.012μm（3σn-1，対物レンズ100倍) 　　正確さ：0.2＋L／100μm（L＝測定長μm）
担当チーム名	表面処理チーム
配置場所	102　ナノ表面評価室
機器説明	本装置は，試料の表面形態を大気中において，非破壊で迅速に測定できます。観察時に焦点の合った面だけから情報を取り出し，さらに焦点位置を変えて像を撮り，それらを画像メモリーで足し合わせることにより，３次元の情報をもった画像を得ることができます。測定例など詳細はこちら
機器の状況	利用については要相談
使用料・手数料	[設備の使用料〕機械または装置　レーザー顕微鏡を参照