無電解めっき法により作製したインバー合金薄膜の熱膨張特性
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- 研究論文
担当者 |
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概要 |
無電解めっき法を用いて低熱膨張インバー鉄-ニッケル(Fe-Ni)合金膜を形成することにより,従来の機械加工法等の商用プロセスでは不可能な低熱膨張精密微細金属構造体や低熱膨張メタライズ膜の作製が実現できる。しかし,これまでに無電解インバー合金薄膜の諸物性・・・・(以下pdf参照) |
研究期間 |
平成29年4月~平成30年3月 |
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キーワード
- Fe-Ni
- インバー
- パワー半導体
- 無電解めっき
- 熱膨張