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電界放出形透過電子顕微鏡

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機種名 電界放出形透過電子顕微鏡
形式 JEM-2100F
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仕様
  • 電子銃:ショットキータイプの電界放出形
  • TEM粒子像分解能:0.23 nm
  • TEM格子像分解能:0.1 nm
  • STEM明視野格子像分解能:0.2 nm
  • 加速電圧:160kV、 200kV
  • EDS検出器:Dry SD 60GV(60mm2)
機器説明 電子線を試料に照射、透過させ、その透過電子、散乱電子等を検知することで、数十μmサイズ(数十倍)からサブnm(百数十万倍以上)の透過電子顕微鏡像観察、回折図形観察が可能な装置である。また、高感度の走査透過像観察装置ならびに液体窒素レスエネルギー分散型X線分光装置(EDS)を有し、観察領域の元素分析や状態解析が可能である。
使用料・手数料 要相談
配置場所 101ナノ構造観察室
機器の状況 要相談
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