令和３年度（公財）JKA機械設備拡充補助事業（競輪補助事業）にてFIBマニピュレーション装置を導入しました。

【装置概要】
　FIBとは，Focused Ion Beam（集束イオンビーム）の略語で，FIB加工観察装置は，試料に集束させたガリウムイオンビームをX，Y方向に走査しながら照射し，イオンビームのスパッタリング効果による試料の微細加工，及びイオンビームの照射に伴い試料表面から発生する２次電子による表面観察ができます。FIBマニピュレーション装置は， FIB加工観察装置に，マニピュレーター（遠隔操作可能な微小プローブつかみ具）を接続したシステムです。
　本装置は，複数の試料の自動加工（主として試料の薄片化）や，加工した超微小試料の移動，試料の高速加工，加工観察した試料の３次元図面構築等が可能であり，試料内部の層構造，接合界面，膜厚などのナノオーダーでの観察，さらにはそれら加工断面の組成分布及び結晶構造解析に活用できます。

※装置について，詳しくは以下担当までお問い合わせください。
　担当：表面処理チーム