薄膜ストレス測定装置
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※「セルフオペレート」と記載のない機器は、研究員が操作させていただきます。
| 機種名 | 薄膜ストレス測定装置 |
|---|---|
| 形式 | FLX-2320-S |
| 写真 |
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| 仕様 |
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| 機器説明 | 基板表面に膜付けされた薄膜によって生じる基板の曲率半径の変化量を、試料表面にレーザーを走査することで計測し、薄膜のストレス（応力）を測定できる装置。 |
| 使用料・手数料 | 要相談 |
| 配置場所 | 607 表面物性測定室 |
| 機器の状況 | 要相談 |
| 測定事例 | 測定例など詳細はこちら |
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