地方独立行政法人 京都市産業技術研究所
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設備紹介

集束イオンビーム加工観察装置

機器名 集束イオンビーム加工観察装置
商品名 集束イオンビーム加工観察装置
写真 h29_JIB4000_L.jpg (公財)JKA機械設備拡充補助事業(競輪)による設置機器
型式 JIB-4000
メーカー 日本電子(株)
仕様
  • イオン源:Ga液体金属イオン源
  • 加速電圧:1~30kV
  • 倍率:×60(視野探し)
       ×200~300,000
  • 像分解能:5nm(30kV時)
  • 最大ビーム電流:60nA(30kV時)
  • 加工形状:短形,ライン,スポット
  • 加工保護膜:カーボン
  • 試料サイズ:20mm角まで
担当チーム名 表面処理チーム
配置場所 101ナノ構造観察室
機器説明  ガリウムイオンの照射により,試料表層の微細加工・断面加工及び観察ができる装置です。
 像を観察しながら微小特定領域を加工できることから,試料内部の層構造,接合界面,膜厚などの観察,走査型電子顕微鏡などによる断面観察を行うための試料作製などが可能である。
測定例など詳細はこちら
機器の状況 要相談
使用料・手数料 要相談 [表面処理チーム 試験の手数料]微細加工(集束イオンビーム加工観察装置) を参照