地方独立行政法人 京都市産業技術研究所
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研究成果

無電解めっき法により作製したインバー合金薄膜の熱膨張特性

研究論文 表面処理
担当者 表面処理チーム  山本 貴代
         永山 富男
         紺野 祥岐
         大藏 要
         中村 俊博
研究開始時期及び
終了時期
平成29年4月~平成30年3月
要旨 無電解めっき法を用いて低熱膨張インバー鉄-ニッケル(Fe-Ni)合金膜を形成することにより,従来の機械加工法等の商用プロセスでは不可能な低熱膨張精密微細金属構造体や低熱膨張メタライズ膜の作製が実現できる。しかし,これまでに無電解インバー合金薄膜の諸物性・・・・(以下pdf参照)
まとめ 無電解めっき法によりFe-Ni合金薄膜を作製し,薄膜の熱膨張特性に及ぼす熱処理の影響を検討した結果,インバー組成領域のFe含有率約63wt%の無電解Fe-Ni合金めっき薄膜が得られ,そのCTEは,as-deposited膜で約10ppm/Kを示したが,500℃の熱処理を行うことによりその・・・・(以下pdf参照)
研究種別 研究論文
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