インバー Fe-Ni合金電析膜の微細構造評価
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担当者 |
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概要 |
鉄-ニッケル(以下, Fe-Ni)合金は, Niが30~40mass%において合金の室温付近の線膨張係数( CTE)が, Fe(CTE=12 ppm / K)または Ni(CTE=13 ppm / K)に比べて小さくなる。特に, Ni含有率36mass%の合金は,Fe-Ni合金の中で最も低いCTE(約1 ppm / K)を示す。これらの低 CTEを呈するFe-Ni合金は"インバー合金"と呼ばれている。 インバー合金めっき技術を応用した電鋳プロセスは,低 CTEを有することで熱寸法安定性が優れ,さらにめっき技術を応用することでマイクロメートルサイズの高寸法精度が得られる3次元金属構造体( MEMS(Micro Electro Mechanical Systems))の作製に適していると考えられる。 ・・・・(以下pdf参照) |
原題 |
Microstructure Characterization of Electrodeposited Invar Fe-Ni Alloy |
研究期間 |
令和2年4月~令和3年3月 |
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キーワード
- Fe-Ni合金めっき
- インバー電鋳
- 低熱膨張めっき