無電解インバーFe-Ni合金薄膜の熱膨張挙動
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担当者 |
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概要 |
Fe-Ni合金は,合金比率により熱膨張係数(CTE)が1~14ppm/Kの幅広い値を示す"熱膨張制御合金"である。中でも,Fe含有率55~70wt%のFe-Ni合金は,そのCTEが1~8ppm/Kとなり,低CTE特性(インバー特性)を示すことから,低熱膨張部材用に供せられている。しかし,従来の溶解鋳造,圧延および機械加工等の商用プロセスでは,材料の精密微細加工や薄膜化が困難であるため,現状では,インバーFe-Ni合金の適用範囲が限定されている。・・・・(以下pdf参照) |
原題 |
Thermal Expansion Properties of Electroless DepositedInvar Fe-Ni Alloy |
研究期間 |
平成30年4月~平成31年年3月 |
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キーワード
- Fe-Ni
- インバー
- パワー半導体
- 無電解めっき
- 熱膨張