表面処理チーム

永山　富男、山本　貴代、中村　俊博

有機エレクトロルミネッセンス（OLED）技術は，低消費電力，高輝度，及び高コントラストの特徴を有するため，次世代のフラットパネルディスプレイとして普及することが期待されている。OLEDディスプレイを製造する際のキープロセスは，ディスプレイ基板上へのエレクトロルミネセンス（EL）材料の蒸着であり，このプロセスにおいてメタルマスクが用いられている。一般に高精度の微細ピッチメタルマスクは，エッチング法によって製造することが困難であるため，電鋳法によりNiまたはNi-Co合金製のメタルマスクが製造されている。・・・・（以下pdf参照）

Low Thermal Expansion and Fine Metal Masks Fabricated via Invar Fe-Ni Alloy Electroforming for Large Fine-Pitch OLED Displays

平成29年4月～平成30年3月