インバー組成範囲におけるFe-Ni合金めっき膜の機械的特性

担当者	表面処理チーム永山　富男、山本　貴代研究部長中村　俊博
概要	Ni含有率が36mass%付近のインバーFe-Ni合金は，Fe及びNi単体に比べ室温付近において低い線膨張係数（以下，CTE）を有する。従って，熱安定性が要求されるMEMS部材をインバーFe-Ni合金めっきにより作製でき，さらにそれらのMEMS部材は高い寸法精度と高い機械的強度を有することが期待される。我々は既に，サッカリンをめっき膜の応力減少剤として添加しためっき浴から，Ni含有率がインバー組成範囲（36～40mass%）のFe-Ni合金めっきの自立膜を作製できることを報告した。さらに，めっきしたままのインバーFe-Ni合金めっき膜は，溶製インバー合金のCTEに比べ大きな値を示し，また400℃以上の熱処理がめっき膜のCTEを溶製合金のCTE値まで安定化させるために必要であることも報告した。従って，・・・（以下pdf本文を参照）
原題	Mechanical properties of electrodeposited Fe-Ni alloys in the Invar composition rang
研究期間	平成27年4月～平成28年3月