表面処理チーム

山本　貴代、永山　富男、小谷有理子、中村　俊博

Fe-Ni合金めっきとフォトリソグラフィを組み合わせた微細加工技術により，種々合金組成のFe-Ni合金構造体を作製し，得られた構造体の組成及び３次元形状を調べた結果，以下のことが判明した。 鉄含有率15～62mass%の鉄－ニッケル合金構造体（開口部100mm角，ピッチ200mm，高さ12～15mm）が得られた。 得られた構造体の合金組成によって，組成及び厚さの分布の程度に差異が生じることが判明した。特に，鉄含有率が約58mass%の構造体においては，合金組成及び厚さ分布に大きなばらつきが生じたため，均質な組成及び厚さの構造体を得るためには，めっき条件の最適化が必要であることが判明した。めっき条件の最適化として，サッカリン濃度について検討した結果，サッカリン濃度を増加させることにより，３次元構造体の組成及び厚さが均一化し，レジスト形状の追従性が向上した均質な構造体が得られた。　本プロセスを用いることにより，今後，次世代MEMS部材等に対応した鉄－ニッケル合金微細構造体の作製が可能となる。

平成26年4月～平成27年3月