表面処理チーム

山本　貴代、永山　富男

高温冶金プロセスで製造された Fe-Ni合金において、鉄含有量が55～70mass%（インバー組成）の合金は、低い熱膨張係数（CTE（coefficient of thermal expansion））を有する。したがって、無電解鉄-ニッケル-ホウ素（以下、Fe-Ni-B）合金めっき膜においても、インバー組成に調整することで、温度変化に対する優れた寸法安定性が期待される。そのため、無電解Fe-Ni-B合金めっき膜は、高密度半導体パッケージング用メタライズ膜として有望視されている。我々はこれまでに、ピロりん酸－くえん酸浴からFe-Ni-B合金薄膜を作製し、その加熱・冷却時の熱応力挙動について調査してきた。ピロりん酸－くえん酸浴では、インバー組成の合金めっき膜が約0.6μm/hのめっき速度 ・・・・（以下pdf参照）

令和3年4月～令和4年3月