インバーFe-Ni合金／SiC複合めっき膜の作製

表面処理
研究論文

担当者	表面処理チーム永山　富男、山本　貴代研究部長中村　俊博
概要	インバーめっき膜の機械的特性の向上を目的として，インバーFe-Ni合金／SiC複合めっき膜を作製し，得られた複合めっき膜の硬さ特性を評価した。めっき液中にSiC粒子（平均粒径約0.5μm，0～20g/L）を分散させた複合めっき法により，SiC共析量が22.4vol%までのインバーFe-Ni合金／SiC複合めっき膜が得られた。インバーFe-Ni合金めっき膜中にSiC粒子が共析することにより，600℃熱処理によるめっき膜の硬さの低下が抑制され，SiC粒子を含まない熱処理後のインバー合金めっき膜及び溶製インバー合金の硬さに比べ高硬度を有した。特にSiC共析量が20vol%以上の複合めっき膜の硬さは，600℃熱処理前後においてほとんど変化しなかった。以上の結果から，SiCを共析（20vol%以上）したインバーFe-Ni合金／SiC複合めっき膜に600℃熱処理を施すことにより，高硬度かつ低CTEのインバー／SiC複合膜を得ることができ，この複合めっき膜は，高い機械的強度と高い熱寸法安定性が要求されるMEMS部材への応用が期待される。
研究期間	平成27年4月～平成28年3月

担当者

表面処理チーム: 永山　富男、山本　貴代

研究部長: 中村　俊博

概要

インバーめっき膜の機械的特性の向上を目的として，インバーFe-Ni合金／SiC複合めっき膜を作製し，得られた複合めっき膜の硬さ特性を評価した。めっき液中にSiC粒子（平均粒径約0.5μm，0～20g/L）を分散させた複合めっき法により，SiC共析量が22.4vol%までのインバーFe-Ni合金／SiC複合めっき膜が得られた。インバーFe-Ni合金めっき膜中にSiC粒子が共析することにより，600℃熱処理によるめっき膜の硬さの低下が抑制され，SiC粒子を含まない熱処理後のインバー合金めっき膜及び溶製インバー合金の硬さに比べ高硬度を有した。特にSiC共析量が20vol%以上の複合めっき膜の硬さは，600℃熱処理前後においてほとんど変化しなかった。以上の結果から，SiCを共析（20vol%以上）したインバーFe-Ni合金／SiC複合めっき膜に600℃熱処理を施すことにより，高硬度かつ低CTEのインバー／SiC複合膜を得ることができ，この複合めっき膜は，高い機械的強度と高い熱寸法安定性が要求されるMEMS部材への応用が期待される。

研究期間

平成27年4月～平成28年3月