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産技研にある機器のスゴイところを紹介します!
~電子線マイクロアナライザ(EPMA)~

2023.10.27

髪の毛よりも細いビームで分析!?

名称 : 電子線マイクロアナライザ(EPMA(イーピーエムエー))
製造 : 日本電子株式会社

この機器でできること

電子線を試料表面に照射し、そこから発生する二次電子、反射電子、特性X線を波長分散方式で計測することにより、高精度かつ高分解能な元素分析が可能です。(数μm(0.001mm)オーダーの微小領域から数mmオーダーの広領域まで対応可能)

こんな時に役立ちます

表面の状態を知りたい

材料や製品(金属、セラミックスなど)の表面を100倍~ 5000倍で観察することで、品質の改善、トラブルの原因究明につながります。

表面処理のプロセスを改善したい

浸炭、窒化及びめっきの膜厚や元素分布を計測することで、適切な表面処理が行われているかを確認することができます。

新たな素材開発をしたい

適切な前処理を行うことで、元素濃度分布を確認することができます。適正な状態かどうかを知ることで、素材開発などに役立ちます。

この機器は、JKA 機械設備拡充補助事業(競輪補助事業)により導入された設備です。

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