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活用事例:環境負荷が少なく低コストなβ型-酸化ガリウム製造法の開発

環境負荷が少なく低コストなβ型-酸化ガリウム製造法の開発

ヤマナカヒューテック株式会社/窯業系チーム

■事業概要
 高純度液体材料製造技術をコアに,環境負荷が少なく,低コストのβ型-酸化ガリウム粉末製造法を開発しました。本法は製造時に発生する廃液の量が少ないことを特徴とし,製造されたβ型-酸化ガリウム粉末は,酸化物半導体(IGZO)や次世代パワーデバイス用の原料に適した特性(易焼結性)を有しています。

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β型-酸化ガリウム β型-酸化ガリウム1次粒子形状
電界放出型走査電子顕微鏡
(FE-SEM)(観察倍率:×5000)

■産業技術研究所との関わり
・ORT事業により粉体プロセスに関する基礎的な技術研修を実施
・β型-酸化ガリウム粉末の熱分解による新製造法の検討(共同研究)
・スパッタリングターゲット用低環境負荷/低コストβ型-酸化ガリウムの開発支援(ものづくり中小企業製品開発等支援補助金/共同研究)

■成果物と今後の事業展開
・開発当時のβ型-酸化ガリウム粉末の純度99.95%から現在は99.999%であり,今後99.9999%以上の高純度化,市場における独占的地位を確立してグローバルトップ製品の開発を目指す。
・製造した高純度β型-酸化ガリウム粉末の新たな用途を探る。

 <ヤマナカヒューテック株式会社 コメント>

ヤマナカヒューテック株式会社
代表取締役社長
森脇 健 氏
 当社は,半導体用高純度薬品を戦略事業とし,さらに半導体技術周辺分野へ発展させるという理念の基,お客様にとって最高の価値を提供できるよう,商品開発,管理体制強化,システム基盤の効率化等に取り組んでおります。
 お客様のニーズの多様化,高度化のスピードが加速している中,高付加価値サービスの提供をいち早く実現できるよう,京都市産技研等の支援も頂きながら,品質向上,開発能力,システム基盤,人材基盤等の更なる強化に,経営資源を投下してまいります。
 
※産技研NEWS「ちえのわ」No.18(2018.12)より抜粋。