地方独立行政法人 京都市産業技術研究所
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研究成果

鉄-ニッケル合金電鋳プロセスによる3次元微細構造体の作製-サッカリン濃度の影響-

研究抄録 表面処理
担当者 表面処理チーム  永山 富男,山本 貴代
研究部長     中村 俊博
研究開始時期及び
終了時期
平成27年4月~平成28年3月
要旨  鉄-ニッケル(以下,Fe-Ni)合金めっきとフォトリソグラフィーを組み合わせた微細構造体作製技術により,高透磁率特性や低熱膨張特性を有する次世代MEMS金属部材の製造が可能となる。これらFe-Ni合金のMEMS構造体が所望の特性を発現するためには,高精度な3次元形状と厳密な組成制御が要求される。特に,Fe-Ni合金めっき皮膜は内部応力が大きいため,一般に,添加剤にサッカリンを用いて,めっき膜の応力を減少させることが必要とされている。しかし,応力減少剤としてのサッカリンがFe-Ni合金構造体の組成及び3次元形状に及ぼす影響についてはこれまで報告されていない。そこで本研究では,低熱膨張Fe-Ni合金構造体の組成及び3次元形状の均質性に及ぼすサッカリンの影響ついて検討した。サッカリン無添加の・・・(以下pdf本文を参照)
まとめ (原題:Fabrication of the three-dimensional micro structure by Fe-Ni alloy electroforming process -Effect of saccharin concentration-)
本研究は,第66回国際電気化学会(2015)にて発表した。
研究種別 研究抄録
備考 ダウンロードできる研究報告(pdf)はサイズを抑えるために低解像度にしています。

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