地方独立行政法人 京都市産業技術研究所
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研究成果

インバー組成範囲におけるFe-Ni合金めっき膜の機械的特性

研究抄録 表面処理
担当者 表面処理チーム  永山 富男,山本 貴代
研究部長     中村 俊博
研究開始時期及び
終了時期
平成27年4月~平成28年3月
要旨  Ni含有率が36mass%付近のインバーFe-Ni合金は,Fe及びNi単体に比べ室温付近において低い線膨張係数(以下,CTE)を有する。従って,熱安定性が要求されるMEMS部材をインバーFe-Ni合金めっきにより作製でき,さらにそれらのMEMS部材は高い寸法精度と高い機械的強度を有することが期待される。我々は既に,サッカリンをめっき膜の応力減少剤として添加しためっき浴から,Ni含有率がインバー組成範囲(36~40mass%)のFe-Ni合金めっきの自立膜を作製できることを報告した。さらに,めっきしたままのインバーFe-Ni合金めっき膜は,溶製インバー合金のCTEに比べ大きな値を示し,また400℃以上の熱処理がめっき膜のCTEを溶製合金のCTE値まで安定化させるために必要であることも報告した。従って,・・・(以下pdf本文を参照)
まとめ (原題:Mechanical properties of electrodeposited Fe-Ni alloys in the Invar composition range)
本研究は,第66回国際電気化学会(The 66th Annual Meeting of the International Society of Electrochemistry, 2015)にて発表した。
研究種別 研究抄録
備考 ダウンロードできる研究報告(pdf)はサイズを抑えるために低解像度にしています。

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