担当者 | 表面処理チーム 山本 貴代,永山 富男,中村 俊博 |
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研究開始時期及び 終了時期 |
平成31年4月~令和2年3月 |
要旨 | 無電解めっき法を用いて鉄-ニッケル-ホウ素(以下,Fe-Ni-B)合金薄膜を作製し,成膜時の応力発生,熱応力挙動を評価し,合金組成及び微細組織と関連付けた。成膜応力は,Feを含まない膜からインバー組成領域の間において,3つの領域に分けることができ,低Fe含有率(Fe:0~10wt%,B:4~5wt%)のめっき膜では約100MPa~200MPaの低応力値,中Fe含有率(Fe:20~40wt%,B:1~2wt%)では約800MPaの高応力値,高Fe含有率のインバー組成である(Fe:55~63wt%,Bはいずれも0.3wt%以下)めっき膜では約500MPaの中応力値を示した。熱応力挙動は,・・・・(以下pdf参照) |
まとめ | 無電解めっき法を用いて種々の合金比率のFe-Ni-B合金薄膜を作製し,その熱応力挙動や結晶構造及び表面形態を評価した結果,以下のことが判明した。 ・成膜応力は,Feを含まない膜からインバー組成領域の間において,3つの領域に分けることができ,低Fe含有率では低応力値,中Fe含有率では高応力値,高Fe含有率では中応力値を示した。 ・無電解Fe-Ni-B合金めっき膜の熱応力挙動は,Fe含有率の増大に伴うB含有率の低下が進むに従い,加熱による収縮はほとんど認められなかった。 ・熱応力挙動は,CTE値,合金比率に由来する微細組織とその加熱・・・・(以下pdf参照) |
研究種別 | 研究論文 |
備考 |