試料調整（試験・分析前処理）

集束イオンビーム加工観察装置	ガリウムイオンの照射により，試料表層の微細加工・断面加工及び観察ができる装置
超低温フリーザー	分析試料の微粉砕を行う装置です。
試料自動研磨装置	金属顕微鏡による金属材料の組織観察，めっき皮膜の組織観察・厚さ測定を行う装置です。
高速湿式試料切断機	試料を分析可能な形状に切り出す装置です。
マイクロ波加熱分解装置システム	固体試料をテフロン製密閉容器で分解し，水溶液化する分析前処理装置です。
密閉高温高圧水熱反応処理装置	高温高圧水を用いた分析前処理装置です。
スパークアブレーション固体サンプリング装置	試料をスパーク放電によりエアロゾル化し，アルゴン気流によりCID高周波プラズマ発光分析装置へ直接導入する分析前処理装置です。
集束イオンビーム試料作製装置	ガリウムイオンの照射により試料の微細加工を行い，走査型電子顕微鏡による断面観察を行うための試料を作製します。