地方独立行政法人 京都市産業技術研究所
  • アクセス
  • お問い合わせ
  • 075-326-6100
文字サイズ

設備紹介

レーザー顕微鏡

機器名 レーザー顕微鏡
商品名 3D測定レーザー顕微鏡
写真 ols4000.jpg
型式 OLS4000-SAT
メーカー オリンパス(株)
仕様
  • 測定精度(平面測定)
      繰り返し性:0.02μm(3σn-1,対物レンズ100倍)
      正確さ:測定値の±2%以内
  • 測定精度(高さ測定)
      繰り返し性:0.012μm(3σn-1,対物レンズ100倍)
      正確さ:0.2+L/100μm(L=測定長μm)
担当チーム名 表面処理チーム
配置場所 102 ナノ表面評価室
機器説明 本装置は,試料の表面形態を大気中において,非破壊で迅速に測定できます。観察時に焦点の合った面だけから情報を取り出し,さらに焦点位置を変えて像を撮り,それらを画像メモリーで足し合わせることにより,3次元の情報をもった画像を得ることができます。
機器の状況 利用については要相談
使用料・手数料 [設備の使用料〕
機械または装置 レーザー顕微鏡を参照