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設備紹介

その他（計測用機器）

薄膜ストレス測定装置 基板表面に膜付けされた薄膜によって生じる基板の曲率半径の変化量を，試料表面にレーザーを走査することで計測し，薄膜のストレス（応力）を測定できる装置。
粒度分布測定装置 粉（粒子）の大きさの分布を測定する装置です。
ヘリウムリークディテクター 精密配管の気密性を試験する装置です。
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