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レーザー顕微鏡

レーザー顕微鏡

~非接触式の表面形状測定~

商品名:3D測定レーザー顕微鏡 OLS4000-SAT 【オリンパス(株)】

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■表面形状
 製品の表面形状は,一見平らに見えても,マイクロメートル(1/1000ミリメートル)から,さらにそれより小さなナノメートル(1/1000マイクロメートル)の微細な凹凸があり,その凹凸の大きさや分布は製品の機能に大きな影響を与えます。例えば,製品の高級感など心理的作用につながる艶や照りは,表面形状と関連しており,一般に,ぴかぴかした金属や,つやつやした樹脂製品は,それらの表面の凹凸が小さく,反対に,光沢のない艶消しの製品の表面は,大きな凹凸があることが特徴です。また凹凸が小さいものは手で触るとツルツルしており,反対に表面に大きな凹凸があるとザラザラした触り心地になります。さらに製品の寸法精度,摩擦特性または耐食性などの特性も表面形状と関連しています。
 このように,表面形状は最終製品の機能を決定するため,その評価は高い精度で,より簡便に実施できることが望まれます。

■機器の内容
 本装置は,試料の表面形態を大気中において,非接触,非破壊で迅速に測定できます。観察時に焦点の合った面だけから情報を取り出し,さらに焦点位置を変えて像を撮り,それらを画像メモリーで足し合わせることにより,3次元の情報をもった画像を得ることができます。このような測定原理から,本装置では,試料の表面形態を高解像度かつ深い焦点深度で観察することできます。

■機器の用途
 本装置は,金属,セラミックス,プラスチックなど幅広い試料について,表面粗さ,膜厚段差,表面形状,うねりなどの表面形状を測定することができます。また,本装置は,非接触で測定するため,一般的な触針式の表面形状測定機では測定が難しいとされている,微小領域の測定にも使用することができます。

■機器の仕様概要
・測定精度(平面測定)
 繰り返し性:0.02μm(3σn-1,対物レンズ100倍)
 正確さ:測定値の±2%以内
・測定精度(高さ測定)
 繰り返し性:0.012μm(3σn-1,対物レンズ100倍)
 正確さ:0.2+L/100μm(L=測定長μm)

※産技研NEWS「ちえのわ」No.11(2017.3)より抜粋。