地方独立行政法人 京都市産業技術研究所
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設備紹介

電子顕微鏡

卓上走査型電子顕微鏡 低真空雰囲気で試料前処理を行うことなく反射電子像及び二次電子像の観察が可能な卓上走査型電子顕微鏡です。またEDXを搭載しており,効率よく迅速に定性分析,元素マッピングが行えます。
電界放出形透過電子顕微鏡 電子線を試料に照射,透過させ,その透過電子,散乱電子等を検知することで,数十μmサイズ(数十倍)からサブnm(百数十万倍以上)の透過電子顕微鏡像観察,回折図形観察が可能な装置
電界放射型走査電子顕微鏡 冷陰極電界放射型電子銃から発生した電子線を試料に照射し,試料の表面形態を超高分解能で観察します。
無蒸着走査電子顕微鏡 各種試料の表面形態を高分解能で観察する装置です。元素分析・マッピングも行えます。
電子線マイクロアナライザ 金属など各種材料表面の微小領域から広領域までの像観察,元素分析及び元素マッピングを行います。素材開発,加工工程の改善,破面解析などに活用できます。