地方独立行政法人 京都市産業技術研究所
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設備紹介

無蒸着走査電子顕微鏡

機器名 無蒸着走査電子顕微鏡
商品名 無蒸着SEM
写真 無蒸着走査電子顕微鏡
型式 JSM-5900LV
メーカー 日本電子(株)
仕様
  • 分解能3.0nm(高真空)
  • 倍率18-300.000倍
  • 加速電圧0.3-30kV
  • EDS(エネルギー分散型X線分析装置)
担当チーム名 窯業系チーム
配置場所 1F ナノ表面分析室
機器説明 各種試料の表面形態を高分解能で観察する装置です。元素分析・マッピングも行えます。
機器の状況 利用については要相談
使用料・手数料 [設備の使用料〕
機械または装置 無蒸着走査電子顕微鏡を参照